海德漢HEIDENHAIN光柵尺光柵檢測(cè)裝管的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源，會(huì)聚誘鏡，指示光柵，光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭，鏡像式讀數(shù)頭，分光鏡式逵數(shù)頭，金

革光柵反射式讀數(shù)斗)光柵尺果申標(biāo)尺光柵和光柵數(shù)頭兩部分組成，海德漢HFIDENHAIN光柵尺標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件

上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動(dòng)部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中

海德漢HEIDENHAIN光柵尺光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量，高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，目制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重委時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生草爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。海德漢HEIDENHAIN光柵尺這樣就把對(duì)光柵冊(cè)距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，海德漢HEIDENHAIN光柵尺首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然后，通過對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以等到光柵尺的移動(dòng)方向。通過對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度。安裝海德漢HEIDENHAIN光柵尺傳感器時(shí)，不能直接將傳感器安裝在粗精不平的機(jī)床身上，更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺

從凌數(shù)斗分知安裝在機(jī)床相對(duì)運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)部件上，千分美檢香機(jī)床工作臺(tái)的主民安裝商與已勒運(yùn)動(dòng)的方向平行度，千分表固定在慶自

上，移動(dòng)工作臺(tái)，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。海德漢HEIDENHAIN光柵尺如果不能達(dá)到這個(gè)要求，則需設(shè)計(jì)加工一件光柵尺基座。