產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2025-07-17
廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
訪(fǎng) 問(wèn) 量 ：15
15214375780
產(chǎn)品分類(lèi)
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001
型號(hào)：61338-PECK-0001
類(lèi)型：氣動(dòng)高真空蝶形調(diào)節(jié)閥（金屬密封，快響應(yīng)型）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門(mén)技術(shù)）
產(chǎn)品定位：面向半導(dǎo)體制造和科研設(shè)備的超高真空動(dòng)態(tài)控制
核心特點(diǎn)：
超高真空兼容性（XHV級(jí)）
耐等離子體腐蝕設(shè)計(jì)
毫秒級(jí)快速響應(yīng)
| 參數(shù) | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|
| 真空范圍 | 10?1? mbar ~ 大氣壓 |
| 漏率 | <1×10?? mbar·l/s（金屬密封版） |
| 閥體材質(zhì) | 316L不銹鋼（電解拋光，Ra≤0.5μm） |
| 蝶板材質(zhì) | 鈦合金鍍Al?O?（可選） |
| 密封類(lèi)型 | 全金屬密封（金包覆Inconel） |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 雙作用氣動(dòng)（4-6 bar） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <50 ms（全開(kāi)至全關(guān)） |
| 溫度范圍 | -20°C ~ +200°C（標(biāo)準(zhǔn)） |
| 法蘭標(biāo)準(zhǔn) | ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8" |
| 控制接口 | 4-20mA/PROFIBUS DP（可選） |
① 等離子體防護(hù)系統(tǒng)
可選Al?O?或Y?O?鍍層，耐受Cl?/HBr/SF?等離子體腐蝕
流道優(yōu)化設(shè)計(jì)，顆粒釋放率<5 particles/m3（≥0.1μm）
② 超快動(dòng)態(tài)響應(yīng)
優(yōu)化氣路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)<50ms開(kāi)關(guān)速度
位置反饋精度±0.5%（可選±0.1%高精度版）
③ 智能診斷功能
集成溫度/振動(dòng)傳感器（預(yù)測(cè)性維護(hù)）
支持工業(yè)4.0通信協(xié)議（OPC UA可選）
| 行業(yè) | 具體應(yīng)用 | 特殊要求 |
|---|---|---|
| 半導(dǎo)體制造 | 原子層沉積(ALD) | 脈沖響應(yīng)<50ms |
| 等離子刻蝕(Etch) | 耐Cl?/HBr腐蝕 | |
| 光伏設(shè)備 | PECVD系統(tǒng) | 大流量調(diào)節(jié)（Cv=1.5） |
| 科研裝置 | 同步輻射光源 | 無(wú)磁化設(shè)計(jì) |
| 真空鍍膜 | 濺射鍍膜系統(tǒng) | 高精度壓力控制 |
安裝要求：
使用激光對(duì)中儀確保安裝偏差<0.1mm
氣路配置0.1μm過(guò)濾器（VAT P/N: FLT-100M）
運(yùn)行前進(jìn)行5次空載循環(huán)測(cè)試
維護(hù)計(jì)劃：
每季度：密封面檢查（使用VAT專(zhuān)用內(nèi)窺鏡）
每10?次循環(huán)：更換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)密封件
年度保養(yǎng)：氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試（建議原廠(chǎng)服務(wù)）
| 特性 | 61338-PECK-0001 | 61344-PEGN-0001 | 61340-PACX-0001 |
|---|---|---|---|
| 響應(yīng)速度 | <50 ms | <30 ms | <50 ms |
| 耐溫性 | +200°C | +250°C | +200°C |
| 密封設(shè)計(jì) | 單金屬密封 | 雙冗余密封 | 單金屬密封 |
| 典型應(yīng)用 | 通用真空系統(tǒng) | EUV/ALD | 刻蝕設(shè)備 |
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001
商品編號(hào)61338-PACN-0001
商品編號(hào)61336-PEGK-0001
商品編號(hào)61338-PEAF-0001
商品編號(hào)61340-PAAE-0001
商品編號(hào)61344-PEGK-0001
商品編號(hào)61336-PECQ-0001
商品編號(hào)61334-KAGQ-0001
商品編號(hào)61336-PAGN-0001
商品編號(hào)61334-KEAK-0001
商品編號(hào)61334-KEGN-0001
商品編號(hào)61334-KAGK-0001
商品編號(hào)61338-PAM1-0001
商品編號(hào)61340-PAGN-0001
商品編號(hào)61338-PACH-0001
商品編號(hào)61338-PAGF-0001
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